300mm晶圓自動(dòng)搬送機(jī)AL120-12簡(jiǎn)介：
AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。
n人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便
=可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。
=分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。
n堅(jiān)固、可靠和安全傳送
=延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
=薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
=宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。
300mm晶圓自動(dòng)搬送機(jī)AL120-12技術(shù)規(guī)格：
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自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
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AL120-LMB12-LP3
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AL120-LMB12-F
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晶圓尺寸
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300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
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卡盒
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●FOUP（Front Opening
Unified Pods）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾
●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品
●FIMS-FOSB, FOSB
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●FOSB（Front Opening
Shipping Box）前開門搬運(yùn)盒
●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
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卡盒數(shù)
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單盒（裝載、卸載兼用）
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卡盒設(shè)置高度
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900 mm
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裝載端口
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有
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無(wú)
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搬運(yùn)順序
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表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
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檢查模式
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全部檢查、抽樣檢查
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晶圓校準(zhǔn)
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非接觸式中心環(huán)
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晶圓搬運(yùn)方式
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真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
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適用顯微鏡
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半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
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應(yīng)用環(huán)境
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AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
壓縮空氣0.5MPa～0.6MPa
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AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz
真空-67～-80 Kpa
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載物臺(tái)
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XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
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重量（不包括顯微鏡）
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約360 kg
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約270 kg
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