Thermo Scientific Nexsa G2 X 射線光電子能譜儀(XPS)系統(tǒng)可進(jìn)行全自動(dòng)、高通量的表面分析，提供用于推進(jìn)研發(fā)或解決生產(chǎn)問(wèn)題的數(shù)據(jù)。
集成 XPS 與離子散射譜(ISS)、紫外光電子能譜 (UPS)、反射電子能量損失譜(REELS)和拉曼光譜，讓您進(jìn)行真正的聯(lián)用分析。該系統(tǒng)現(xiàn)包含樣品加熱和樣品加偏壓功能選項(xiàng)，拓寬可進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)范圍。Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)發(fā)掘了材料科學(xué)、微電子、納米技術(shù)開(kāi)發(fā)和許多其他應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。
X射線光電子能譜儀(XPS)Nexsa G2主要特點(diǎn)：
高性能 X 射線源
全新的低功率 X 射線單色器，允許以 5μm為間隔、選擇10μm 到 400μm 之間的分析面積，確保從感興趣的特征區(qū)域收集數(shù)據(jù)，同時(shí)使信號(hào)更大化。
優(yōu)的電子光學(xué)系統(tǒng)
高·效的電子透鏡、半球形分析器和檢測(cè)器使其具有超強(qiáng)的檢測(cè)能力和快速的數(shù)據(jù)采集能力。
樣品視圖
使用Nexsa XPS 的光學(xué)觀察系統(tǒng)和 SnapMap 功能聚焦樣品特征區(qū)域，有助于快速定位感興趣的區(qū)域。
絕緣樣品分析
雙束中和源：既能出射低能離子，又能出射低能電子(小于1 eV)。在測(cè)試中能夠?qū)悠罚貏e是絕緣樣品，進(jìn)行很好的中和，令數(shù)據(jù)分析簡(jiǎn)單而可靠。
深度剖析
利用標(biāo)準(zhǔn)離子源或 MAGCIS（可選的雙模式單原子和氣體團(tuán)簇離子源）獲取表面之下的信息；離子源的自動(dòng)校準(zhǔn)和氣體團(tuán)簇的處理確保了較佳的性能和實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性。
可選樣品臺(tái)
提供可選的各種特殊樣品臺(tái)，用于變角 XPS、樣品加偏壓測(cè)試或從手套箱惰性轉(zhuǎn)移樣品。
數(shù)碼控制
儀器控制、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告均由基于 Windows 的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制。
NX 樣品加熱器模塊
全軟件控制的樣品加熱功能選項(xiàng)，支持溫度相關(guān)研究。
X射線光電子能譜儀(XPS)Nexsa G2規(guī)格：
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分析器類(lèi)型
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180° 雙聚焦半球形分析器，128 通道探測(cè)器
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X 射線源類(lèi)型
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單色化、微聚焦、低功率的 Al K-Alpha X 射線源
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X 射線光斑尺寸
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10-400 μm（以 5μm 為單位可調(diào)）
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深度剖析
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EX06 單原子離子源或 MAGCIS 雙模式離子源
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樣品最大面積
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60 x 60 mm
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樣品最大厚度
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20 mm
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真空系統(tǒng)
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兩個(gè)渦輪分子泵，配有自動(dòng)鈦升華泵和前級(jí)泵
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可選配件
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UPS、ISS、REELS、iXR 拉曼光譜儀、MAGCIS、樣品傾斜模塊、NX 樣品加熱模塊、樣品加偏壓模塊、真空轉(zhuǎn)移模塊、手套箱集成適配器
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