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晶圓樣品上的電路圖案顯微觀察檢測解決方案

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產品描述

當需要對晶圓樣品的電路圖案和顏色進行顯微觀察時，傳統的方法是對前者進行暗場照明、對后者進行明場照明，并在這兩種技術之間反復切換。因為在創建報告時需要為每種技術采集圖像，所以這種觀察方法非常耗時。

晶圓明場晶圓暗場

奧林巴斯的解決方案

用于執行半導體/FPD檢測的MX63/MX63L工業顯微鏡提供了一種可有效替代傳統觀察方法的解決方案：MIX 照明功能。利用MIX照明功能，可同時觀察晶圓的電路圖案和顏色信息。MIX圖像的銳度和清晰度可幫助提高工作效率和改進報告生成過程。

晶圓MIX

產品功能
簡化的工作流程
MX63/MX63L顯微鏡可幫助簡化整個檢測工作流程，并在潔凈室環境中也具有同樣的性能水平。
用戶友好界面
借助用于控制對焦、光強和孔徑的各種功能，可方便地調整MX63/MX63L顯微鏡設置。MX63/MX63L顯微鏡易于操作，即使是新手操作員也可以在適當的觀察條件下進行檢測。
成像技術
MX63/MX63L顯微鏡基于數十年豐富光學經驗構建，可提供鮮明清晰的圖像，有助于確保獲得可靠的測量結果。
模塊化
MX63/MX63L顯微鏡采用模塊化設計，使用戶可以選擇豐富的光學元件以滿足自己的特定應用需求。無需過多投資即可構建所需的系統。

來源：奧林巴斯網站

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